光(guang)柵(zha)尺(chi)可(ke)用(yong)於高精度測(ce)量的(de)機床和系統
更新時間:2020-07-22 點擊次(ci)數:5232次(ci)
光(guang)柵(zha)尺(chi)專(zhuan)為(wei)需(xu)要高精度測(ce)量的(de)機床和系統而設計。消除了由(you)滾(gun)珠(zhu)絲杠的溫(wen)度和運動特性(xing)引起(qi)的(de)誤差和反向(xiang)誤差(cha)。典型應(ying)用(yong)包括:半(ban)導(dao)體(ti)行業的(de)測(ce)量和生產(chan)設備,電(dian)路板(ban)裝配(pei)機,精密機床,高精度機床,測(ce)量機和比(bi)較(jiao)器(qi),測(ce)量顯微(wei)鏡(jing)和其他精(jing)密測(ce)量設備。

1.用於測(ce)量高速運動27m以內(nei)的(de)位(wei)置(zhi)。尺寸(cun)和安裝方法與lida400相(xiang)同
2.測(ce)量步(bu)驟很小,精度(du)和重復精度(du)很高。掃(sao)描方式為(wei)幹(gan)涉掃(sao)描,測(ce)量基(ji)準(zhun)為(wei)二相(xiang)相位(wei)光(guang)柵(zha)。
3.光(guang)柵(zha)尺(chi)的測(ce)量基(ji)準(zhun)為(wei)suradur玻璃矩陣(zhen)光(guang)柵(zha),掃(sao)描方式為(wei)幹(gan)涉掃(sao)描。其特點(dian)是精(jing)度(du)高,重復精度(du)高,安裝簡單(dan),開關(guan)受(shou)限,歸零。lif481v的特殊類(lei)型可(ke)以(yi)在(zai)10–7bar的真(zhen)空環(huan)境(jing)中使用(yong)。
4.特別適(shi)用(yong)於運(yun)動速度(du)高達10m/s的高速運動應用(yong)。它(ta)支持(chi)各種(zhong)安裝方法,並且(qie)易(yi)於安(an)裝。根(gen)據(ju)應用(yong)要求(qiu),冶金(jin)光(guang)柵(zha)的(de)基質可(ke)以(yi)是鋼(gang)帶(dai),玻(bo)璃或玻璃陶(tao)瓷。也可(ke)以(yi)限制(zhi)開關(guan)。
5.PP雙坐(zuo)標(biao)編(bian)碼器(qi)的測(ce)量基(ji)準(zhun)為(wei)平(ping)面二位(wei)相光(guang)柵(zha),掃(sao)描方式為(wei)幹(gan)涉掃(sao)描。用於測(ce)量平(ping)面中的位(wei)置(zhi)。
光(guang)柵(zha)尺(chi)包括柵(zha)尺(chi)或鋼帶和讀數頭。柵(zha)尺(chi)和讀數頭之(zhi)間沒有(you)機械(xie)接觸。開口的線性(xing)柵(zha)尺(chi)的長光(guang)柵(zha)直(zhi)接固定(ding)在(zai)安裝面上,安裝表(biao)面的平(ping)整(zheng)度直接影(ying)響(xiang)線性(xing)柵(zha)尺(chi)的精度。