為什麽光(guang)柵(zha)尺(chi)是精密測量設備的關鍵(jian)部(bu)件?
更新時間:2023-10-17 點(dian)擊(ji)次(ci)數(shu):1606次(ci)
在精密測量設備中,光(guang)柵(zha)尺(chi)被廣泛(fan)用(yong)作關鍵(jian)部(bu)件,以實現(xian)高(gao)精度(du)的位(wei)移(yi),位置(zhi)和(he)速(su)度(du)測(ce)量。光(guang)柵(zha)尺(chi)以其精度(du)、穩(wen)定性(xing)和(he)可(ke)靠性(xing),在許(xu)多工(gong)業應(ying)用(yong)中占(zhan)據了重要的地(di)位(wei)。這(zhe)是壹(yi)種(zhong)利用(yong)光(guang)的幹(gan)涉(she)和(he)衍射原理進行測(ce)量(liang)的設備。它由壹(yi)組(zu)精細(xi)刻劃的玻(bo)璃或金(jin)屬(shu)光(guang)柵(zha)組(zu)成,光(guang)柵(zha)上(shang)刻有等(deng)間距的刻線。當壹(yi)束(shu)激光(guang)通(tong)過(guo)光(guang)柵(zha)時,光(guang)會發生(sheng)衍(yan)射和(he)幹涉,產生特(te)定的光(guang)強(qiang)分(fen)布模式,這(zhe)個(ge)模式被稱為莫(mo)爾條紋。莫(mo)爾條紋的間距與(yu)光(guang)柵(zha)的刻線間距之間存(cun)在壹(yi)個(ge)簡(jian)單(dan)的關系,可(ke)以利用(yong)這(zhe)個(ge)關系來(lai)精確地(di)測(ce)量位移。

1、高(gao)精度(du):光(guang)柵(zha)尺(chi)的精度(du)遠(yuan)遠超過(guo)了傳(chuan)統的機(ji)械(xie)測(ce)量(liang)設備。其精度(du)通(tong)常(chang)可(ke)以達到(dao)微米(mi)甚(shen)至納(na)米(mi)級(ji)別,這(zhe)使得(de)它成為許(xu)多高(gao)精度(du)測(ce)量應(ying)用(yong)的理(li)想(xiang)選(xuan)擇(ze)。
2、防(fang)汙(wu)染:由(you)於光(guang)柵(zha)尺(chi)的工(gong)作原(yuan)理(li)是(shi)基於光(guang)學效應,而不是(shi)機(ji)械(xie)接(jie)觸(chu),因此(ci)它對環境(jing)中的塵(chen)埃(ai)、汙(wu)染物(wu)等幹(gan)擾(rao)物的敏感(gan)度(du)較低(di)。這(zhe)意味著它在許(xu)多工(gong)業環境(jing)中都(dou)能(neng)可(ke)靠地工(gong)作。
3、不(bu)受磁(ci)場幹擾(rao):由於光(guang)是壹(yi)種(zhong)電磁(ci)波(bo),因此(ci)光(guang)柵(zha)尺(chi)不受磁(ci)場幹擾(rao),對於那(na)些(xie)可(ke)能(neng)存在強(qiang)烈(lie)磁(ci)場的環境(jing),如電力設備的制(zhi)造(zao)和(he)維(wei)護,光(guang)柵(zha)尺(chi)具有(you)優(you)勢。
4、長(chang)壽(shou)命:由(you)於光(guang)柵(zha)尺(chi)沒有(you)移動(dong)部(bu)件,因此(ci)它的壽(shou)命主(zhu)要受限(xian)於(yu)光(guang)柵(zha)本(ben)身的質(zhi)量(liang)和(he)穩定性(xing)。在適(shi)當的環境(jing)下(xia),光(guang)柵(zha)尺(chi)可(ke)以長時間保(bao)持(chi)其精度(du)和(he)穩定性(xing)。
5、可(ke)遠程操作:通(tong)過(guo)光(guang)纖(xian)傳(chuan)輸(shu)的光(guang)柵(zha)尺(chi)可(ke)以實現(xian)遠(yuan)距離(li)的測(ce)量(liang),使得(de)在惡(e)劣(lie)環境(jing)或難(nan)以到(dao)達的地(di)方(fang)進行測(ce)量(liang)的可(ke)能(neng)性(xing)大大增加(jia)。
由(you)於(yu)上述優(you)點(dian),光(guang)柵(zha)尺(chi)在許(xu)多精密測量設備中都(dou)起(qi)著(zhe)關鍵(jian)作用(yong)。例如,在半(ban)導體制造(zao)中,光(guang)柵(zha)尺(chi)被用(yong)於測(ce)量和(he)控(kong)制(zhi)系統中的微小(xiao)位(wei)移(yi);在精密機(ji)床(chuang)中,光(guang)柵(zha)尺(chi)則(ze)被(bei)用(yong)於實(shi)現(xian)高(gao)精度(du)的切(qie)削(xue)和(he)加工。此(ci)外,在科(ke)研(yan)、醫療、軍(jun)事(shi)等領域,光(guang)柵(zha)尺(chi)也在各(ge)種(zhong)高(gao)精度(du)測(ce)量和(he)定位(wei)系統中發揮(hui)著(zhe)核心作用(yong)。