在(zai)數(shu)控機床(chuang)、精密(mi)測量(liang)設備(bei)、半導體(ti)制(zhi)造(zao)和(he)自動(dong)化(hua)機器人(ren)等(deng)裝備(bei)領(ling)域,位(wei)移(yi)測量(liang)的(de)精度直(zhi)接決(jue)定(ding)了整(zheng)個(ge)系統(tong)的(de)性(xing)能。開(kai)放式(shi)光柵(zha)尺作為直線位移(yi)測量(liang)中(zhong)的(de)關鍵(jian)核心(xin)部(bu)件(jian),以其高(gao)精(jing)度、高(gao)分(fen)辨率(lv)和(he)高(gao)可(ke)靠(kao)性(xing),成為現(xian)代(dai)精(jing)密(mi)制(zhi)造(zao)領(ling)域的(de)“眼睛(jing)”。
這(zhe)是(shi)壹(yi)種基於(yu)光柵(zha)光學(xue)成像(xiang)原理(li)的(de)線性(xing)位移測量(liang)系(xi)統。其主要(yao)由(you)讀(du)數(shu)頭(tou)和(he)標(biao)尺(chi)光(guang)柵(zha)組(zu)成(cheng),讀(du)數(shu)頭(tou)內集成了光源(yuan)、準直(zhi)鏡(jing)、光(guang)柵(zha)副(fu)和(he)光電接收器。當讀數(shu)頭(tou)沿(yan)標(biao)尺(chi)光(guang)柵(zha)移動(dong)時,莫爾條(tiao)紋信號被(bei)光電元件接收並轉換(huan)為電信號,通(tong)過電子細分(fen)技(ji)術(shu)實現(xian)納米(mi)級(ji)精度的(de)位移(yi)測量(liang)。與(yu)封閉式(shi)光(guang)柵(zha)尺不同(tong),開(kai)放式(shi)光柵(zha)尺的(de)標(biao)尺(chi)光(guang)柵(zha)與被(bei)測設備(bei)直接機(ji)械連接,讀(du)數(shu)頭(tou)與(yu)標(biao)尺(chi)光(guang)柵(zha)之間無(wu)物理(li)接觸。這(zhe)種非接觸式(shi)測量(liang)結構避(bi)免(mian)了機械磨損,從原理(li)上(shang)保(bao)證了長(chang)期穩定(ding)的(de)測量(liang)精(jing)度。
1、納米(mi)級(ji)精度與(yu)高(gao)分(fen)辨率(lv)
采(cai)用(yong)優質計(ji)量(liang)光(guang)柵(zha)和(he)精密(mi)光學(xue)系統(tong),配(pei)合高(gao)性(xing)能細分電路,可(ke)實現(xian)±1µm/m以內的(de)測量(liang)精(jing)度和(he)納米(mi)級(ji)的(de)分辨率(lv),滿(man)足(zu)超高(gao)精(jing)度定(ding)位(wei)需(xu)求(qiu)。
2、動(dong)態性(xing)能
讀數(shu)頭(tou)與(yu)標(biao)尺(chi)間(jian)無(wu)接觸摩擦,允(yun)許更(geng)高(gao)的(de)移動(dong)速(su)度(可(ke)達10m/s)和(he)加速(su)度,特(te)別(bie)適合(he)高(gao)速(su)高(gao)精(jing)應用場景(jing)。
3、強大(da)的(de)抗汙(wu)染能(neng)力(li)
光(guang)路設計和(he)信號處(chu)理(li)技(ji)術(shu),使(shi)其對(dui)油汙(wu)、灰塵(chen)等(deng)常(chang)見(jian)汙(wu)染物(wu)具(ju)有更高(gao)的(de)容(rong)忍度,保(bao)證在(zai)嚴苛(ke)工(gong)業環境(jing)下(xia)穩定(ding)工(gong)作。
4、安裝調(tiao)試(shi)便捷(jie)
采用自動(dong)增益控制(zhi)(AGC)和(he)自動(dong)偏(pian)置(zhi)補(bu)償(AOC)技(ji)術(shu),讀(du)數(shu)頭(tou)與(yu)標(biao)尺(chi)間(jian)隙允(yun)許範(fan)圍大(da)(通(tong)常(chang)±0.2mm),安(an)裝調(tiao)試(shi)更加(jia)簡便(bian)快(kuai)捷(jie)。

選(xuan)擇(ze)適(shi)合(he)的(de)開(kai)放式(shi)光柵(zha)尺需重點考(kao)慮(lv)以下(xia)因(yin)素:
1、精度等(deng)級(ji):根據應用需求(qiu)選(xuan)擇(ze)±1µm、±3µm等(deng)不同(tong)精度等(deng)級(ji)。
2、測量(liang)長(chang)度:有效(xiao)行(xing)程從(cong)幾(ji)百(bai)毫(hao)米(mi)至(zhi)數(shu)十(shi)米(mi),需(xu)留(liu)有余量(liang)。
3、輸(shu)出(chu)信號:支持TTL方波(bo)、1Vpp正弦(xian)波、EnDat、BiSS等(deng)接口(kou)協議(yi)。
4、安裝結構:考慮(lv)安(an)裝空間、剛性(xing)要(yao)求,選(xuan)擇(ze)適(shi)合(he)的(de)機械結構形式(shi)。
5、環境(jing)適(shi)應性(xing):評(ping)估振(zhen)動(dong)、溫度變化(hua)等(deng)環境(jing)因(yin)素(su)對(dui)精度的(de)影響(xiang)。
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