細(xi)分(fen)海(hai)德漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺的(de)信(xin)號

　　海德漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺信(xin)號(hao)的細(xi)分(fen)與(yu)辨向(xiang)是提(ti)高海(hai)德(de)漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺測(ce)量精(jing)度的(de)關(guan)鍵(jian)性(xing)壹(yi)步(bu)。在筆者所參考(kao)的(de)關(guan)於光(guang)柵(zha)辨向(xiang)和(he)細(xi)分(fen)電(dian)路的資(zi)料中，很多(duo)設計者(zhe)都(dou)沒有(you)綜(zong)合考慮(lv)辨(bian)向(xiang)和(he)細(xi)分(fen)的(de)復雜(za)性(xing)，而(er)是把(ba)辨(bian)向(xiang)和(he)細(xi)分(fen)電(dian)路分(fen)開(kai)，辨向(xiang)電路只對(dui)海(hai)德(de)漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺的(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)進行辨向(xiang)，而不(bu)是對(dui)細(xi)分(fen)後(hou)的(de)脈(mai)沖(chong)信(xin)號(hao)進行辨向(xiang)，這樣實現測量誤差仍是海德漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺的(de)柵(zha)距。在考慮(lv)辨(bian)向(xiang)功能(neng)時，應對(dui)細(xi)分(fen)後(hou)的(de)信(xin)號(hao)進行辨向(xiang)設計，否(fou)則(ze)不能(neng)提(ti)高測(ce)量精(jing)度。

　　海(hai)德漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺系(xi)統是(shi)用(yong)來(lai)度量各(ge)軸(zhou)的坐(zuo)標(biao)數(shu)值的(de)，目前三次(ci)元測量機(ji)上使用(yong)的海(hai)德(de)漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺系(xi)統種(zhong)類很多(duo)，它們與在各種(zhong)機(ji)床和(he)儀器(qi)上(shang)使用(yong)的海(hai)德(de)漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺系(xi)統大(da)致相(xiang)同，按其性(xing)質可以(yi)分(fen)為(wei)機(ji)械式(shi)海德漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺系(xi)統（如(ru)精(jing)密(mi)絲杠(gang)加(jia)微(wei)分(fen)鼓(gu)輪，精(jing)密(mi)齒(chi)條及(ji)齒(chi)輪(lun)，滾(gun)動(dong)直(zhi)尺）、光(guang)學(xue)式(shi)標(biao)尺系(xi)統（如(ru)光學(xue)讀數(shu)刻線(xian)尺，光(guang)學(xue)編碼(ma)器(qi)，光(guang)柵(zha)，激光幹涉儀）和(he)電氣(qi)式標(biao)尺系(xi)統（如(ru)感(gan)應同步(bu)器(qi)，磁柵(zha)）。根(gen)據對(dui)國(guo)內(nei)外(wai)生(sheng)產CMM三(san)坐標(biao)測量儀(yi)所(suo)使用(yong)的標(biao)尺系(xi)統的(de)統計分(fen)析(xi)可知(zhi)，使用(yong)zui多的(de)是(shi)光(guang)柵(zha)，其次(ci)是感(gan)應同步(bu)器(qi)和(he)光學(xue)編碼(ma)器(qi)。有(you)些(xie)高精(jing)度CMM三(san)次(ci)元測量機(ji)的標(biao)尺系(xi)統采(cai)用(yong)了激(ji)光(guang)幹涉儀。

　　海德漢封閉式(shi)直(zhi)線(xian)光(guang)柵(zha)尺是(shi)利(li)用(yong)光柵(zha)的光學(xue)原(yuan)理工作(zuo)的(de)測量反饋裝(zhuang)置。光柵(zha)尺位(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)經常(chang)應用(yong)於數(shu)控機(ji)床的閉環(huan)伺(si)服(fu)系統中(zhong)，可(ke)用(yong)作直(zhi)線(xian)位(wei)移或(huo)者(zhe)角(jiao)位(wei)移的(de)檢測。其測量輸(shu)出的(de)信(xin)號(hao)為數(shu)字(zi)脈(mai)沖(chong)，具(ju)有(you)檢測範圍(wei)大(da)，檢測精(jing)度高，響應速(su)度快的(de)特點(dian)。例(li)如(ru)，在數(shu)控機(ji)床中常用(yong)於對(dui)刀(dao)具(ju)和(he)工件的(de)坐(zuo)標(biao)進行檢測，來(lai)觀(guan)察和(he)跟(gen)蹤(zong)走刀(dao)誤差，以起(qi)到壹個補償(chang)刀(dao)具(ju)的(de)運(yun)動(dong)誤差的作(zuo)用(yong)。