直線光(guang)柵尺實(shi)現(xian)直線位(wei)移(yi)的準(zhun)確(que)反(fan)饋

　　直線電(dian)動機(ji)是(shi)高精(jing)度(du)的電(dian)動機(ji)，位(wei)置精(jing)度(du)有0.01μm〜10μm的多個(ge)等級(ji)。那麽直線電(dian)機(ji)是(shi)如何實(shi)現(xian)直線位(wei)移(yi)的呢？那就(jiu)得(de)靠(kao)直線光(guang)柵尺了。

　　直線光(guang)柵尺也(ye)稱為光(guang)柵尺位(wei)移(yi)傳(chuan)感器（光(guang)柵尺傳(chuan)感器），是(shi)壹種(zhong)利(li)用光(guang)柵的(de)光(guang)學原(yuan)理(li)的(de)測(ce)量反(fan)饋設備(bei)。光(guang)柵尺通(tong)常(chang)用於CNC機(ji)床的閉環伺(si)服(fu)系統中，並可(ke)用於檢測(ce)線性(xing)或角(jiao)位(wei)移(yi)。測(ce)得的(de)輸(shu)出(chu)信號(hao)為數字脈沖(chong)，具(ju)有檢測(ce)範圍大(da)，檢(jian)測(ce)精(jing)度(du)高，響(xiang)應(ying)速度(du)快(kuai)的(de)特(te)點。例(li)如，它(ta)常用於CNC機(ji)床中，以(yi)檢(jian)測(ce)刀具(ju)和(he)工件(jian)的坐(zuo)標(biao)，觀察和(he)跟蹤刀(dao)具(ju)的誤(wu)差(cha)，從而(er)在(zai)補(bu)償刀(dao)具(ju)誤(wu)差(cha)方面(mian)發揮(hui)作(zuo)用。
 

　　根(gen)據不(bu)同(tong)的(de)制造(zao)方(fang)法和(he)光(guang)學原(yuan)理(li)，線性(xing)光(guang)柵分(fen)為透射(she)光(guang)柵和(he)反(fan)射(she)光(guang)柵。光(guang)柵尺由(you)兩部分(fen)組(zu)成：光(guang)柵尺和(he)光(guang)柵讀(du)取頭。標(biao)尺光(guang)柵壹般固(gu)定(ding)在機(ji)床的固(gu)定(ding)部分(fen)上(shang)，光(guang)柵讀(du)取頭安裝(zhuang)在線性(xing)電(dian)動機(ji)上，指示(shi)光(guang)柵安(an)裝(zhuang)在光(guang)柵讀(du)取頭上。光(guang)柵檢(jian)測(ce)裝(zhuang)置的(de)關鍵部分(fen)是(shi)光(guang)柵讀(du)取頭，它由(you)光(guang)源，聚(ju)光(guang)鏡，指示(shi)光(guang)柵，光(guang)電(dian)元(yuan)件(jian)和(he)調節(jie)機(ji)構組(zu)成。光(guang)柵讀(du)取頭的結(jie)構(gou)形(xing)式(shi)很(hen)多。根(gen)據讀取頭的結(jie)構(gou)特點和(he)使用場(chang)合(he)，將(jiang)其(qi)分(fen)為直接(jie)接(jie)收讀(du)取頭（或矽光(guang)電(dian)管讀(du)取頭，鏡面(mian)讀取頭，光(guang)譜(pu)讀取頭，金屬光(guang)柵反(fan)射(she)讀取頭）。

　　直線光(guang)柵尺測(ce)量位(wei)移(yi)的本(ben)質(zhi)是(shi)用光(guang)柵尺作(zuo)為標(biao)準(zhun)尺來(lai)測(ce)量光(guang)柵的(de)位(wei)置，高(gao)分(fen)辨率(lv)光(guang)柵尺通(tong)常(chang)更(geng)昂(ang)貴並且難以(yi)制造(zao)。為了提高(gao)系統的分(fen)辨率(lv)，有(you)必(bi)要細(xi)分(fen)莫(mo)爾條紋。目(mu)前(qian)，電(dian)子細分(fen)方(fang)法主要用於光(guang)柵傳(chuan)感器系(xi)統。當(dang)兩個光(guang)柵以(yi)微(wei)小的傾(qing)斜角(jiao)重疊時(shi)，會在(zai)大(da)致垂(chui)直(zhi)於(yu)光(guang)柵劃線的(de)方向上(shang)產(chan)生(sheng)莫(mo)爾條紋。隨著光(guang)柵的(de)移(yi)動，莫(mo)爾條紋也(ye)將(jiang)上(shang)下移(yi)動。這(zhe)樣(yang)，光(guang)柵間距(ju)的測(ce)量值(zhi)被轉(zhuan)換(huan)為莫(mo)爾條紋的數量的測(ce)量值(zhi)。